EUV-lithografie
De belichtingstechniek van ASML waarmee de fijnste chippatronen worden geprojecteerd; DUV is de oudere generatie.
Lithografie is de stap waarin het ontwerp van een chip op de wafer wordt geprojecteerd, zoals een dia op een scherm, maar dan op nanometer-schaal. EUV (extreem ultraviolet licht) is de nieuwste generatie van die techniek, en het Nederlandse ASML is het enige bedrijf ter wereld dat de machines kan bouwen.
De techniek grenst aan het absurde: tinnen druppels worden 50.000 keer per seconde door een laser geraakt om licht van 13,5 nanometer op te wekken, dat via de gladste spiegels ooit gemaakt op de wafer belandt. Eén machine kost honderden miljoenen; de nieuwste variant (High-NA) ruim 350 miljoen euro.
DUV is de oudere generatie op grover licht, nog steeds onmisbaar voor de meeste chiplagen, en geopolitiek relevant: EUV mag niet naar China worden geëxporteerd, DUV (deels) wel.